進口ULVAC愛發科大排氣量多級羅茨干泵RDA 系列  

進口ULVAC愛發科大排氣量多級羅茨干泵RDA 系列  

特點

通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

當使用干泵時可選配，用于降低排氣噪音。

特點

大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時間。

極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低

配有專用的消音器

　極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低

無需先前所需要的軸封氣體

　※L型可以使用稀釋氣體。

排氣速度120-1200 m3 / h級　※可與機械增壓泵結合使用

　可以根據應用選擇最佳排氣能力的型號

得點

出色的消音效果

可以通過卡箍連接到泵的排氣口

規格

對應標準/電壓

使用上的注意

1　粉末和生成物吸入會導致泵損壞。
請使用吸氣阱。

2　吸入有害氣體如爆炸性氣體， 有毒氣體，腐蝕性氣體，有機溶劑氣體等，可能會因氣體本身，爆炸或火災而導致泵故障。

3　僅供室內使用
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。