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日本供應ULVAC愛發科 油擴散泵PFL系列
日本供應ULVAC愛發科 油擴散泵PFL系列
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統
蒸發設備、濺射設備等著排氣系統
H2、He等輕氣體主排氣系統
用于使低溫泵運轉。將壓縮后的氦氣送出冷凍機，冷卻從冷凍機回來的高溫氦氣，使之循環。
| 型號 | PFL-22 | PFL-22TM | PFL-36 | PFL-52 | |
| 排氣速度 | 10,000 L/sec | 10,000 L/sec | 34,000 L/sec | 70,000 L/sec | |
| 極限壓力 *1 | 3.0×10-4 Pa | ||||
| 臨界背壓 | 16 Pa | 6.7 Pa | 16 Pa | ||
| 工作開始時間 | 40 min | 60 min | 60 min | ||
| 液壓油 | ULVOIL D-11 | ||||
| 油量 | 5 L | 13 L | 27 L | ||
| 水溫 | 19～25℃ | ||||
| 冷卻水進水口 (尺寸) | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×4 | |
| Rc 3/8×2 | |||||
| 冷卻水量 | 12 L/min | 15 L/min | 38 L/min | 50 L/min | |
| 電壓規格 | 200V / 3φ | ||||
| 電力需求 | 8 kW | 10 kW | 開始操作時 22 kW | 開始操作時 45 kW | |
| 穩定時 11 kW | 穩定時 30 kW | ||||
| 加熱器種類 | 盤繞加熱器 | 盤繞加熱器 | 盤繞加熱器 | 盤繞加熱器 | |
| 推薦輔助泵 *2 | PMB-040C＋PKS-070 | PMB-040C＋PKS-070 | PMB-060C＋PKS-070 x 2個 | ||
| (PMB1200D＋PKS-030) | (PMB1200D＋PKS-070) | PMB2400D＋PKS-070 | |||
| (PMB2400D＋PKS-070) | |||||
| 外形尺寸 *3 | A | 480 mm | 480 mm | 725 mm | 1,000 mm |
| B | 630 mm | 630 mm | 1,022 mm | 2,000 mm | |
| H | 1,330 mm | 1,330 mm | 1,732 mm | 2,845 mm | |
| 吸氣口 | VG550 | VG550 | VG900 | 52英寸VG相當 | |
| 排氣口 | VG150 | VG200 | VG250 | VG350 | |
| 重量 | 290 Kg | 650 Kg | 1,400 Kg | ||
| 油位計 | 視口 View port | 視口 View port | 視口 View port | ||
| 溫控器選項 | 有 | 有 | 有 | ||
| 恒溫器設定溫度 | 180 | 110 | 110 | ||
| 型號 | BW-22 | BW-36 | BW-52 | ||
| 電導 | 14,000 L/sec | 54,000 L/sec | 75,000 L/sec | ||
| 外形尺寸 *3 | D | φ680 mm | φ1,065 mm | φ1,480 mm | |
| T | 101 mm | 113 mm | 165 mm | ||
| t | 26 mm | 28 mm | 35 mm | ||
| 冷卻水進水口(尺寸) | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 1/2 | ||
| 水容量 | 3 L/min | 5 L/min | 5 L/min | ||
| 重量 | 28 kg | 66 kg | 200 kg | ||
*1 當冷卻水量為20℃時，極限壓力基于電離真空計。
*2 這里是根據擴散泵最大流量來選擇輔助泵的。
*3 通常情況下，考慮到粗抽時間，使用比這里所示的更大的機械增壓泵和油回轉真空泵也是合適的。
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| PFL-22 , PFL-22TM | PFL-36 | PFL52 | |
| A | 480 mm | 725 mm | 1000 mm |
| B | 630 mm | 1022 mm | 2000 mm |
| H | 1330 mm | 1732 mm | 2845 mm |
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